第92章 这,这是刻蚀工艺? (3/5)
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节点二二 ↓

sp; 桌上是他们辛苦了许多天弄出的数据,上面密密麻麻画满了各种线路图纸。

    就是睡着了,他们的手都还捏着笔,无意识地写着东西。似是梦中也仍在想着研究的事。

    李暮走上前,看了一眼两人身前的稿纸,写得是刻蚀工艺的问题。

    虽然有李暮的理论,但是依旧需要大量的苦功,才能实现干法刻蚀。

    看着两位老教授疲惫的神态和眉头紧紧皱起的的沟壑,李暮心中长叹,犹豫再三,拿起笔。

    “都这么些天了,我再拿出点东西,应该不过分吧。”李暮心中暗道。

    ……

    次日,实验室。

    “阿嚏~”顾鸣没忍住打了个喷嚏,下意识紧了紧身上的衣服。

    他反应过来,奇怪道:“咦,老陆,这是你给我盖的?”

    “盖什么,不是你给我盖的吗?”陆骞也紧了紧身上的衣服。

    两人一对,这才发现,身上竟然都盖着一件衣服,而且好像来来自同一个人。

    “奇了怪了,黄教授,昨天有人进过实验室吗?”陆骞问了刚刚起来的黄新华一嘴。

    黄新华揉了揉乱糟糟的头发,眼里满是血丝,道:“没有吧,我昨天熬到四点多才睡,没看到人进来。”

    “不过也可能是我注意力太集中了,所以没看见。”

    “可能是你们的学生徐青过来盖的吧。”

    “不对不对。”顾鸣连连摇头,要是徐青过来,肯定会强行让他们去休息,不可能只是悄悄盖一件衣服那么简单。

    “那会是谁?”黄新华这时也反应过来。

    难道是敌特?

    不可能啊,敌特会有那么好心,还给他们盖衣服?何况,敌特要是能潜进来,学校明里暗里的安全人员都是吃素的不成?

    就在两人疑惑不解的时候,忽然,起身收拾资料的陆骞发出一声急促的惊呼:“老顾,老顾,这是你昨晚写的?”

    他指着桌上的一迭稿纸,满眼的不可思议。

    “不是我写的就是你写的,有这么惊讶吗?”顾鸣有些莫名其妙地看向桌上的稿纸。

    这不看不要紧,一看他也吃了一惊:“这,这是刻蚀工艺?”

    只见第一张纸上写着:

    “采用部分或完全电离的中性气体,通常包括电子、正负离子、中性粒子(包括激发态和基态的中性粒子)、自由基以及光子等……”

    “这些气体在以等离子体形式存在时,具备两个特点,一是化学活性比常态下更加活跃……”

    “二是可以利用电场对等离子体进行引导和加速,使其具备一定的能量,当其轰击被刻蚀物的表面时,会将被刻蚀物材料的原子击出,从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。”

    下面还有详细的图例展示。

    三人将稿纸一张张摊开,发现上面不仅记载了刻蚀工艺的流程,甚至连离注

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