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台左右的光刻机，为了节约成本和简化工艺，采用高低搭配，最下面的晶体管层，用6台左右6英寸晶圆和800nm制程工艺的先进光刻机；上面做铜互连，用14台左右的6英寸晶圆和1um制程工艺的光刻机代替。
本章完