.....那么什么样的光才能足够强呢？毫无疑问，是激光。所以我们从研发一开始，就着手研制出了氦—氖气体激光器作为光刻机的光源干涉仪......”徐国士娓娓讲述道。

    “什，什么？徐老师，你说咱们的光刻机光源一开始就是使用气体激光方案？”

    陈国泰突然瞪大眼睛，不敢置信地惊呼道。

    “对呀？这有什么问题吗？”

    徐国士愣了一下，疑惑地说道。

    有什么问题？这问题可大了！

    陈国泰当即用看神仙一般的敬仰眼神震惊地看着徐国士，心里疯狂地呐喊。

    就陈国泰前世记忆中的内容来看，国外的光刻机在本世纪九十年代之前，光源部分基本都是使用高压汞灯。

    直到进入九十年代，国外光刻机的主流光源才开始使用氟—氩气体激光。

    也就是俗称的DUV光刻机。

    而就在那个时候，国内光刻机的光源部分已经换成了氟代硼铍酸钾非线性激光晶体，把西方世界远远地甩在了后面。

    那个晶体有一个大名鼎鼎的名字——KB.BF晶体！

    它在广泛应用中被叫做准分子固态激光......

    “徐老师，我们凤凰集团从成立开始就有发展光刻机全产业链的构想。为此我们收集了很多西方世界光刻机的情报......据情报记载，西方光刻机目前使用的光源并不是气体激光，而是高压汞灯！”

    在徐国士的疑惑注视之下，陈国泰声音微微颤抖地说道。

    “什么？小陈，你能确定，西方现在使用的光源是高压汞灯？”

    徐国士瞬间大吃一惊，身体猛然前倾，死死地盯着陈国泰说道。

    “我们的消息确切无误。西方世界使用的光源的确是高压汞灯。”

    陈国泰快速做了一个深呼吸，尽量镇定地说道。

    “他们真的是用高压汞灯做光源？这不对呀。汞蒸气经过高电压激发出的光线，虽然也勉强称得上是激光，流明度也够高，但是激光波长过长，分辨率明显比不上惰性气体激光......并且它污染还大......当初我们是直接放弃的......他们不应该那么落后啊。这到底是怎么回事呢？”

    徐国士满头雾水，喃喃自语道。

    “徐老师，或许我知道是怎么回事了。”

    陈国泰脑海里突然灵光一闪，一句话冲口而出。

    “怎么回事？你快说！”

    徐国士一把抓住陈国泰的手，语气极为急迫地说道。

    “徐老师，如果我没猜错的话，你当初临危受命研发光刻机时，得到了全国上下所有科研机构和生产力量全力配合，是不是？”

    陈国泰仔细思考了一下，看着徐国士缓声说道。

    “没错，的确是这样。要不然仅凭我徐启林一个人，一年多时间就是把光刻机一个子系统搞明白都很难做到。”

    徐国士理所当然地点头说道。

&

本章未完，请点击下一页继续阅读