，设计也就需要更加精妙。

    现代的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空装置，同时还配备有自动化的刻蚀终点检测和控制装置，价格昂贵，很少有实验室会完全配备。

    单单只是一个刻蚀流程，其实并不需要耗费多长时间。

    不等尹之耀说出口，王东来便点了点头，说道：“尹总是这方面的专家，可以检查一下！”

    等到见到实验项目的时候，尹之耀就变得无比认真起来。

    这一刻，尹之耀恨不得把自己的眼睛摘下来放到上面去看，免得错过任何一点关键信息。

    但实际上并不是这样。

    王东来当时在构思方案的时候，原本是想着弄出一份离子蚀刻方案就行了，但是在【大脑超频】的状态下，灵感无数，便研究出了一份全新的反应离子刻蚀方案。

    看了王东来的论文之后，尹之耀已经认定王东来是这方面的天才了。

    至于反应离子刻蚀的原理倒也算简单。

    在设计好之后，便发给了陈凌岳，让他在实验室里进行验证。

    足足检测了半個小时。

    而越看，尹之耀越是惊叹。

    所以，很快仪器就停了下来。

    经过差不多两天的设备调校，今天便是验证的时间了。

    一路无话，很快就到了地方。

    机器轻轻地嗡鸣地响了起来，顿时就见到仪器开始运动起来。

    放下成品后，尹之耀的眼神无比明亮。

    王东来充满自信，丝毫不怕会出什么问题。

    “嗡！”

    所以，此刻尹之耀可以说是用出了自己最大的精力来观察，来检查。

    尹之耀也不客气，点了点头，立即就走了进去，开始检查起来。

    “看来银河科技还是很舍得在这方面投入的！”

    说实话，这些仪器如果不是陈凌岳加入银河科技的话，恐怕还需要大半年的时间甚至更长时间才能凑齐。

    反应离子刻蚀也是超大规模集成电路工艺中很有发展前景的一种刻蚀方法。

    这些仪器，目前也经过人为的修理调整，用来验证王东来的反应离子刻蚀方案。

    完全不像是一个刚刚出现的设计方案，更像是运行多年的成熟方案，根本毫无挑剔之处。

    完美！

    只能用这个词来形容。

    心里给出判断之后，尹之耀既是兴奋，又是紧张起来。

    兴奋在于通过这份设计方案，他可以很明确地说，刻蚀装备国产化已经没有多大的问题了。

    而紧张在于，王东来表现的能力，让他这个中威公司的老板开始有些担忧自家公司的发展情况了。

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