是面露难色！
　　光刻机问题，他们在I-line光刻机、KRF光刻机上都没遇到什么问，因为国内已经有了成熟可用的供应链。
　　但是DUV干式光刻机的话，那么问题可就比较大了，这玩意的ARF光源可不好搞……但是就算不好搞，他多少还有点信心在最近两年内搞出来。
　　至于DUV浸润式光刻机，说实话，王道林自己也不知道什么能搞出来。

本章完